儀器名稱：場發射掃描電子顯微鏡

品牌:  日本電子

型號：JSM-7610F

產地：日本

儀器介紹：

1.超高分辨圖像的觀察，放大倍數1百萬倍

新開發的強勵磁物鏡極靴設計，JSM-7610F的象差小，圖像分辨率高，特別是在低加速電壓下仍保持很高的分辨率，適合于材料表面的高分辨圖像觀察，分辨率指標如下：

1.0nm (二次電子,加速電壓：15kV)

1.3nm (二次電子,加速電壓：1kV)突出的低壓分辨率

2. 分子泵系統：真空系統潔凈，抽氣速度快，維護簡單。

3.五軸馬達樣品臺標準控制：使用方便。

4.大樣品室：利用JSM-7610F的標準配置，即可進行直徑最大為150mm樣品的觀察；絕大部分操作通過鼠標即可實現。

5.能量過濾器：可以按任意比例混合二次電子和背散射電子圖像。

6.  圓錐型熱場發射電子槍：電子束虛漂移小，改變加述電壓無需手動調節虛漂移點。7.光闌角控制透鏡： 無須手動切換光闌，束流大小完全由計算機自動控制。

8. 離子泵的電源支持：停電后可以堅持14天，電池更換每年只需200元以內。

9.良好的可操作性：控制界面設計友好，使用便利。

10.多通道顯示：可以選擇四種圖像同時顯示，高位二次電子像，低位二次電子像，背散射組成像和背散射拓撲像。

11. 穩定的GB模式：標準配置。可以有效抑制充電和提高點電壓下的分辨率。

12. 微區的成份分析幾何尺寸好：配合能譜儀（EDS）分析時，工作距離只有8mm， 取出角35度。