X射線衍射系統
儀器名稱:X 射線衍射系統
品牌: 布魯克
型號:D8 DISCOVER
產地:德國
儀器介紹:
1. 采用創造性的達芬奇設計,配備了集成化的DIFFRAC.SUITETM軟件,附件自動識別、即插即用以及完全集成化的二維XRD2功能。
2. 高分辨XRD(HRXRD),外延多層膜厚度,晶胞參數,應變及弛豫過程。
3. X射線反射率(XRR),薄膜厚度,組份,粗糙度,密度。
4. 倒易空間圖譜(RSM),晶胞參數,晶格錯配,組份,橫向結構。
5. 面內掠入射衍射 (in-plane GID),掠入射小角X射線散射(GISAXS),晶胞參數,晶格錯配,物相組成,孔隙度。
6. 應力和織構分析,取向分布,取向定量,硬度。
7. 物相鑒定(Phase ID),物相組成,晶格對稱性,晶粒大小。